本發(fā)明涉及半導體制造技術領域,尤其是涉及一種基于壓力測量模塊的原子層沉積設備。所述原子層沉積設備,包括真空部件、加熱部件、氣路部件、等離子體產(chǎn)生部件、控制部件和沉積室;沉積室內(nèi)設有壓力測量模塊,壓力測
發(fā)布時間: 2013-04-17
本發(fā)明提供了一種水性聚氨酯膠粘劑,包括具有式(I)結構的聚氨酯;本發(fā)明還提供了一種水性聚氨酯膠粘劑的制備方法。本發(fā)明提供的聚氨酯是由具有式(II)結構的聚(碳酸酯-醚)二元醇和三羥甲基丙烷、二異氰酸酯
發(fā)布時間: 2013-04-17
本發(fā)明提供一種基于新型存儲器的固態(tài)硬盤內(nèi)部緩存管理方法及系統(tǒng),所述管理系統(tǒng)包括SATA接口控制器、微處理器、DRAM內(nèi)存、本地總線、閃存控制器、及NAND閃存,所述固態(tài)硬盤內(nèi)部管理系統(tǒng)中還包括PCRA
發(fā)布時間: 2013-04-17
本發(fā)明涉及傳感器技術類,更具體地說,它涉及一種能自動抑制環(huán)境溫度、光源強度變化干擾的用于監(jiān)測聲波的光纖傳感器。目的是提供一種具有新型結構、能有效抑制外界溫度和光源強度變化的干擾的雙探頭補償式光纖聲發(fā)射
發(fā)布時間: 2013-04-17
一種對移相干涉儀隨機誤差模態(tài)的評估方法屬于干涉儀誤差的評估領域,該方法包括如下步驟:測試過程中引入一定的傾斜量,多次測量結果的平均值作為參考值,取其中一次測試結果減去參考值,獲得其中一次測試結果的隨機
發(fā)布時間: 2013-04-17
一種能自動調(diào)壓的干式真空泵控制方法,測量從大氣壓到真空狀態(tài)時真空腔體的真空度參數(shù),比較目標真空度參數(shù)與已存的真空度參數(shù),讀取頻率信號,使真空腔體達到頻率信號下的真空度,通過循環(huán)逼近過程,完成閉環(huán)控制。
發(fā)布時間: 2013-04-17
本發(fā)明涉及半導體制造技術領域,尤其是涉及一種防回流的原子層沉積設備。所述原子層沉積設備,包括真空部件、加熱部件、氣路部件、等離子體產(chǎn)生部件、控制部件和沉積室;氣路部件包括第一管道和第二管道,第一管道和
發(fā)布時間: 2013-04-17
本發(fā)明公開了與流感病毒復制相關的長鏈非編碼核酸片段以及它們的應用。本發(fā)明提供的shRNA,其生成siRNA,所述siRNA為雙鏈RNA,如序列表的序列11或序列13所示。所述shRNA具體可如序列表的
發(fā)布時間: 2013-04-17
本發(fā)明涉及一種用于鋰硫電池正極材料的碳硫復合物及其制備方法,碳硫復合物包括碳材料和單質(zhì)硫,其中碳材料由孔徑2-5nm介孔碳和孔徑30-70nm的導電碳摻雜而成、且孔徑30-70nm的導電碳中含有0.5
發(fā)布時間: 2013-04-17
本發(fā)明提供一種用于相變存儲器的相變材料,所述相變材料由Al,Sb,Te元素組成的通式為Al100-x-ySbxTey的材料,其中,40≤x<100,y<60。本發(fā)明提供的Al-Sb-Te系列相變材料作
發(fā)布時間: 2013-04-17